WAFER STEPPER

Wir bieten verschiedene Generationen und Möglichkeiten von Wafer Steppern für:

• 2'' bis 8'' Substrate
• quadratische Substrate
• individuellen Systemaufbau gemäß Kundenvorgabe
• G-Line und I-Line Optiken
• Ausrüstung der Geräte mit Wechselchuck-Systemen

Die technischen Möglichkeiten eines Wafer Steppers werden durch den Einsatz der Wechselchuck-Systeme erhöht.

Häufig werden Systeme von GCA ® als Basis verwandt. GCA Systeme von DSW (Direct Step on Wafer) 4800 und ALS bis hin zum Autostep sind ab Lager verfügbar.
Wir beraten Sie gerne!