Wafer Stepper

GCA Waferstepper DSW 8000/8500

  • Für diese Systeme stehen G‐line und I‐line Optiken zur Verfügung. Globales und lokales Alignment nach Bedarf integriert. Die Systeme werden mit PC‐ Upgrade angeboten.
  • Substrate bis 6“, Wechselchuck fähig.
  • Einsatzgebiet: Kundenspezifisch nach Bedarf.

GCA Waferstepper ALS 200

  • Für diese Systeme stehen G‐line und I‐line Optiken zur Verfügung. Globales und lokales Alignment nach Bedarf. Die Systeme werden mit PC‐ Upgrade angeboten.
  • Substrate bis 8“, Wechselchuck fähig.
  • Einsatzgebiet: Kundenspezifisch nach Bedarf.

GCA Waferstepper Autostep

  • Für diese Systeme stehen G‐line und I‐line Optiken zur Verfügung. Globales und lokales Alignment nach Bedarf.
  • Diese Systeme sind funktionsgleich mit einem ALS System.
  • Die technischen Unterschiede müssen erklärt werden.
  • Die Systeme werden mit PC‐ Upgrade angeboten.
  • Substrate bis 8“, Wechselchuck fähig.
  • Einsatzgebiet: Kundenspezifisch nach Bedarf.