Wafer Stepper
GCA Waferstepper DSW 8000/8500
- Für diese Systeme stehen G‐line und I‐line Optiken zur Verfügung. Globales und lokales Alignment nach Bedarf integriert. Die Systeme werden mit PC‐ Upgrade angeboten.
- Substrate bis 6“, Wechselchuck fähig.
- Einsatzgebiet: Kundenspezifisch nach Bedarf.
GCA Waferstepper ALS 200
- Für diese Systeme stehen G‐line und I‐line Optiken zur Verfügung. Globales und lokales Alignment nach Bedarf. Die Systeme werden mit PC‐ Upgrade angeboten.
- Substrate bis 8“, Wechselchuck fähig.
- Einsatzgebiet: Kundenspezifisch nach Bedarf.
GCA Waferstepper Autostep
- Für diese Systeme stehen G‐line und I‐line Optiken zur Verfügung. Globales und lokales Alignment nach Bedarf.
- Diese Systeme sind funktionsgleich mit einem ALS System.
- Die technischen Unterschiede müssen erklärt werden.
- Die Systeme werden mit PC‐ Upgrade angeboten.
- Substrate bis 8“, Wechselchuck fähig.
- Einsatzgebiet: Kundenspezifisch nach Bedarf.